Интернет-магазинИнтернет-магазин
| Начало | Новинки | Корзина |
  Главная » Каталог » Компьютерная литература » Компьютеры и программы » Компьютер и школа. И другая литература » Технологии микроэлектроники. Химическое осаждение из газовой фазы
Разделы
Бизнес (508)
Воспитание. Образование. (170)
Радиоэлектроника (79)
Каталоги (6)
Компьютерная литература (3224)
  Базы данных (100)
  Графика, дизайн, мультимедиа (322)
  Разработка программного обеспечения (57)
  Компьютерная безопасность. Хакерство (80)
  Компьютерные сети. Интранет, корпоративные сети (59)
  Компьютеры и программы (1052)
    Архитектура, аппаратные средства ПК (для специалистов). Разработка драйверов (66)
    Работа на компьютере для начинающих. Самоучители (98)
    Карманные компьютеры. Ноутбуки. Оргтехника (33)
    Компьютер и школа (47)
    Компьютер и школа. И другая литература (592)
    Компьютер для... (юриста, медика, секретаря, бухгалтера...) (75)
    Компьютерные игры (12)
    История компьютерной эры. Компьютеры (в целом) (1)
    Программы, утилиты (кроме Майкрософт) (47)
    Продукты Microsoft (2)
    Домашний ПК. Выбор, модернизация, устройство, периферия (36)
  Интернет и Web-страницы (326)
  Операционные системы (Windows, Linux...) (297)
  Основы программирования (40)
  MS Office. Офисные программы Майкрософт (188)
  Системы проектирования (CAD/CAM) (257)
  Сертификационные экзамены (6)
  Энциклопедии и словари по вычислительной технике, программированию, интернет (17)
  Цифровая фотография (36)
  Языки и системы программирования (387)
Кулинария (1)
Популярная психология (71)
Психология (132)
Психотерапия и психоанализ (15)
Полный список товаров
Издатели
Новинки Перейти
«БИЗНЕС-РЕВЮ. УКРАИНА. Производители товаров и услуг 2009-2010»
«БИЗНЕС-РЕВЮ. УКРАИНА. Производители товаров и услуг 2009-2010»
90.00 грн.
Реклама
Уважаемые посетители! Магазин работает в режиме виртуальной витрины. Прием заказов временно приостановлен.
Технологии микроэлектроники. Химическое осаждение из газовой фазы 39.60 грн.
Предыдущий товар Товар 149 из 592
категории Компьютер и школа. И другая литература
 Следующий товар
 
box_bg_l.gif.

Проведена классификация процессов и оборудования химического осаждения из газовой фазы (ХОГФ), используемых в технологии производства интегральных микросхем (ИМС), и показаны тенденции их развития. Приведены основные характеристики...

Тираж: 1500
Год6 2006
Страниц: 192
Формат: 60х90/16
Обложка: Твердый переплет
ISBN: 5-94836-039-3  

Предисловие

Список используемых сокращений

Введение

Глава 1. Классификация процессов ХОГФ функциональных слоев ИМС

Глава 2. Характеристики структуры до и после операции ХОГФ функционального слоя

Глава 3. Технологические характеристики процессов ХОГФ функциональных слоев ИМС

Глава 4. Состав и параметры оборудования ХОГФ функциональных слоев ИМС

Глава 5. Классификация оборудования ХОГФ функциональных слоев ИМС

Глава 6. Механизмы протекания процессов ХОГФ

  • 6.1. Анализ механизмов термоактивированных процессов ХОГФ
  • 6.2. Особенности механизмов плазмоактивированных процессов ХОГФ
  • 6.3. Особенности механизмов процессов ХОГФ с дискретной подачей реагентов

Глава 7. Функциональные слои ИМС, осаждаемые в процессах ХОГФ

  • 7.1. Эпитаксиальные монокристаллические пленки кремния (Si), германия (Ge) и гетероструктуры кремний – германий (Si1-xGex)
  • 7.2. Пленки нелегированного и легированного поликремния и аморфного кремния
  • 7.3. Пленки диоксида кремния, нелегированных и легированных силикатных стекол
  • 7.4. Пленки нитрида и оксинитрида кремния
  • 7.5. Пленки диэлектриков с низкой диэлектрической постоянной (low k dielectrics)
  • 7.6. Пленки диэлектриков с высокой диэлектрической постоянной (high k dielectrics)
  • 7.7. Пленки вольфрама, его силицидов, нитридов и карбидов
  • 7.8. Пленки титана, его силицидов и нитридов
  • 7.9. Пленки тантала и его нитридов
  • 7.10. Пленки алюминия и его сплавов
  • 7.11. Пленки меди
  • 7.12. Пленки кремнийорганических фоторезистов для глубокого ультрафиолета (DUV photoresists)

Заключение

Литература

Сведения об авторах

 



Товар был добавлен в наш каталог 01 January 2009 г.
box_bg_r.gif.
Отзывы Количество:
Поиск
Введите слово для поиска. Расширенный поиск
Вход
E-Mail:
Пароль:
Регистрация
Отложенные товары Перейти
Нет отложенных товаров.
Отзывы Перейти
Написать отзывНапишите Ваше мнение о товаре!
Издатель
Техносфера
Другие товары данного издателя
Рассказать другу
 

Сообщите своим друзьям и близким о нашем магазине
Уведомления Перейти
УведомленияСообщите мне о новинках и Технологии микроэлектроники. Химическое осаждение из газовой фазы
Реклама
Скидки   |   Расширенный поиск   |   Свяжитесь с нами   |   Регистрация   |   Мои данные
Copyright © 2009 ga-zon.com
Материалы, представленные на сайте, не могут быть использованы без письменного разрешения администрации сайта
  bigmir)net TOP 100